半自动反转式扩膜机DM-DE1080T
一、主要技术参数
1).设备为8寸台式设备,采用双控一键式扩膜方式,使用触摸屏进行参数参数
设定;
2).适用于8寸及以下晶圆的扩膜工艺;
3).适用于8寸DISCO标准贴片环(参考客户提供样品)。
4).设备的扩膜误差: ±2mm,扩张范围6寸扩张至8寸(max),扩张范围及速度可????????????????????调;
5).设备为向下扩膜方式,配置去静电装置(离子棒方式);
6).扩膜盘配置加热装置,加热范围:室温~80℃,连续可调;控温精度:≤±2℃;
7).标准用膜为UV膜或蓝膜;
8).设备外形尺寸约: 长×宽×高:?500mm×650mm×700mm,重量约:55kg;
9).设备使用AC220V/50Hz电源,额定功率约:700W;
10).设备需配置0.4-0.7Mpa压缩空气;
11).配置一个接尘盘;
二、反转式扩膜机照片