产 品 介 绍
一、产品名称：12寸自动二流体清洗机(DM-CS1120-F)
二、技术规格：??
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序 号 |
内 ?容 |
参 数 |
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1 |
设备型号 |
DM-CS1120-F |
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2 |
额定电压 |
AC 220V |
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3 |
频率 |
50HZ |
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4 |
工作满载电流 |
30A |
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5 |
动力电源线 |
2.52以上 |
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6 |
纯净水压力 |
0.25Mpa |
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7 |
压缩空气压力 |
0.5~0.7MPa |
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8 |
主轴转速 |
401r/min～3000 r/min |
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9 |
清洗时间 |
5s～999s |
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10 |
氮气的供给压力 |
0.5Mpa以上 |
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11 |
整机尺寸 |
1100mm*600mm*1510mm |
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12 |
产品规格 |
12寸以及12寸以下 |
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13 |
****功率 |
3.3KW |
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14 |
额定功率 |
1.1KW |
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15 |
清洗功能 |
全自动式 |
三、产品特点：
1.外观简洁大方,整机采用PLC系统控制，易于操作，性能稳定；
2.功能：通过喷洒出微小且高压力的纯净水将切割后的晶圆清洗干净。
3.通过更改参数自动适应3、4、5、6、8、12英寸的晶圆以及其它半导体产品；
4.适用于非标方形铁片环使用。
5.出水压力可调，范围：2.0~11.8MPa（20 ~ 120 kgf/cm2）；
6.主电机采用AC变频电机，摆臂电机采用伺服电机。
7.可分开调节喷水和喷气时主轴旋转速度，范围：0~3000 rpm；
8. 采用彩色触摸屏作为人机操作界面；
9.喷头喷洒范围可自动根据设定的晶圆大小调节，无需人工干预；
10.具有气体压力和出水压力调节功能；
11.具有氮气输入接口；
12.具有“紧急停止”功能；
13.具有系统运行状态监控和设备故障报警功能；
14.适应框架（Frame）：非标方形Frame（客户提供样品）
15.电器部分采用SMC、, Misumi、西门子、三菱等国外知名品牌产品，系统可靠；
四、产品功能：
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1.二流体的主要功能是氮气加纯水清洗，清洗后用氮气甩干。
??2.二流体的工作原理：?主要有清洗和甩干两个功能、?清洗方式是氮气加纯水混合清洗，气和水的混合比例是可以调节、?甩干是用氮气吹干。
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五:产品功能照片介绍：
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★ 二流体自动清洗机是上海鼎满机械设备有限公司自行研发及制造，相对于昂贵的进口产品,在价格方面有着相对优势。强大的研发团队；合理的设计；让设备的使用更人性化,更简洁化；且设备中所涉及到的电器配件均采用进口以及国内优质产品，更好的保障了设备在使用过程中的出色与安全。
