触摸屏操作高端自动扩膜机
一、主要技术参数
1).设备为8寸台式设备，采用双控一键式扩膜方式，使用触摸屏进行参数参数
设定；
2).适用于8寸及以下晶圆的扩膜工艺；
3).适用于8寸DISCO标准贴片环（参考客户提供样品）。
4).设备的扩膜误差: ±2mm，扩张范围6寸扩张至8寸（max），扩张范围及速度可 调；
5).设备为向下扩膜方式，配置去静电装置（离子棒方式）；
6).扩膜盘配置加热装置，加热范围：室温～80℃，连续可调；控温精度：≤±2℃；
7).标准用膜为UV膜或蓝膜；
8).设备外形尺寸约: 长×宽×高： 500mm×650mm×700mm，重量约：55kg；
9).设备使用AC220V/50Hz电源，额定功率约：700W；
10).设备需配置0.4-0.7Mpa压缩空气；
11).配置一个接尘盘；
